成分分析按照结论来区分，可分为：定性结果——通过成分分析的手段得出被测物中主要包括的成分，概况的来说就是确定物质的组分；定量结果——在确定被测物的定性组分之后，进行相应的定量分析，得出各种组分的分配比例。
表征与测试技术是科学鉴别材料、认识其多样化结构、评价其特殊性能的根本途径。材料表征的主要目的是确定材料的一些物理化学特性如形貌、尺寸、粒径、化学组成、晶型结构、禁带宽度和吸光特性等。材料成份的分析对于物质性质和表征非常重要，能谱可用于材料的表面成份分析。常用的能谱分析包括X射线能谱分析（EDS）与X射线光电子能谱分析（XPS）。
X射线能谱分析（EDS）与X射线光电子能谱分析（XPS）简介
X射线能谱分析（EDS）的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量∆E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成份分析的，其用来对材料微区成份元素种类与含量进行分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜使用。
X射线光电子能谱分析（XPS）的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能（binding energy）为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得试样有关信息。X射线光电子能谱为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息因此对化学分析最有用，被称为化学分析用电子能谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。
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